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TEM cube多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室可用于在高真空下存儲(chǔ)多達(dá) 8 個(gè) TEM 樣品架（極限真空在 10 -7 Torr 范圍內(nèi)）。真空度足夠高，可以檢查原位 TEM 芯片的泄漏。它還可以配備遠(yuǎn)程 EM-KLEEN 等離子源，以在腔室中進(jìn)行等離子清潔。腔室的大小為 9 英寸立方。它可以擬合相當(dāng)大的 TEM 和 SEM 樣品和組件。房間有一個(gè)玻璃前門(mén)用于觀察。