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VSS-450-300 臺式真空燒結爐 適用基板尺寸最大為 300 毫米 ×300 毫米 ×70 毫米。升溫速率最高達 150 開爾文 / 分鐘。真空度可達 10?³ 百帕（可選 10??百帕）。
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