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LT-sSNOM 低溫顯微鏡具有近場成像和光譜學的能力，以及接觸、動態、MFM、cAFM、KPFM、PRFM 等其他 AFM 模式。樣品界面由離軸拋物面鏡照射，散射光由外差干涉儀檢測。地形圖像可以與光學圖像同時獲得。